کاریز واژه‌ای فارسی است و در اصل کهریز و شاید کهن‌ریز و یا کال‌ریز بوده‌است. واژهٔ قنات کلمهٔ پارسی معرب شده‌است. در خاور ایران، افغانستان و آسیای میانه واژهٔ کاریز بیشتر کاربرد دارد و در باختر ایران، واژهٔ قنات. قنات خود عربی شدهٔ کنات فارسی است که از ریشهٔ فعل کندن و یا کانال گرفته شده است. جمع قنات را «قَنَوات» گویند